本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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">综合-休闲
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">焦点-知识Playground Games工作室今天公布了旗下开放世界赛车游戏《极限竞速:地平线6》新系统情报,车辆改装细节公开,本作预定5月19日登陆Xbox Series X">探索-知识
记者昨日获悉,由中国国际电子商务中心等单位主办的“电商赋能 链动乡村”2025年农村电商高质量发展交流会公布了2025年全国农村电商“领跑县”、县域直播电商中心(村播学院)和县域数字流通龙头企业案例集,蒙城县两个案例入选。
蒙城县电商公共服务中心入选全国县域直播电商中心案例集,体现了其在直播电商人才培养、直播活动组织、推动产业发展等方面的突出成效;蒙城县盛源粮食贸易有限公司入选全国县域数字流通龙头企业案例集,彰显了其在粮食等农产品数字化流通、供应链优化、市场拓展等方面的引领作用。
近年来,蒙城县抢抓国家电子商务进农村综合示范创建机遇,积极完善农村电商生态体系,构建协同发展机制,推动农村电子商务高质量发展,成果显著。在农产品上行方面,蒙城县通过搭建“蒙城好物”等线上平台,积极开展各类消费帮扶活动,大力培育直播人才与账号,同时与知名主播、知名电商品牌合作,整合本地农副产品进行展示展销。
“我们通过搭建线上平台,帮助300余户农户销售农副产品,累计销售额3000余万元。”蒙城县商务局电商发展服务中心主任刘柱介绍,“蒙城好物”电商平台已受理35家企业,上线蜂蜜、花生、牛肉、粉丝等100余款公共品牌农特产品,持续拓宽农产品销售渠道,促进农民增收。
在完善农村电商公共服务体系方面,该县搭建“两中心一站点”服务网络,即电商公共服务中心、物流配送中心和村级电商服务站点,为农产品上行提供全方位服务。以11个乡镇交通运输服务站为试点,建成集客运、邮政快递、乡镇特色产品展示、直播中心等功能为一体的综合服务站,完成104家村级电商网点功能升级,行政村快递服务覆盖率100%。
“下一步,我们将继续加大对电商产业的支持力度,进一步完善电商服务体系,培育更多优秀电商企业与人才,深化农产品上行与直播电商发展,助力乡村振兴,努力打造全国农村电商高质量发展的标杆。”刘柱表示。(记者 张珍 通讯员 姜秋月)
编辑: 刘晓东">探索-热点
五、查看置顶效果
置顶成功后,回到“瞬间”主页面,你会发现刚才置顶的瞬间会显示在比较显眼的位置,优先展示给其他soul用户。这样,它被看到的几率就大大增加啦。
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">探索-知识在这场峰会的聚光灯下,富轩全屋门窗董事长李昌安代表富轩,正式向超大玻璃的性能巅峰发起冲锋,宣布挑战超大玻璃性能“FWRC世界纪录” 。FWRC世界纪录认证机构认证官 Alexander Diesing(艾利格赞德·迪辛)现场进行了确认和受理。

这不仅是一次对产品物理极限的冲击,更是富轩向全球同行展示中国智造底气的宣言。这背后,是富轩敢于将自家产品置于全球最严苛标准下“炼金”的自信。富轩敢于开启这一时代,绝非一时的营销冲动,而是源于二十余年深耕沉淀的深厚内功。这份底气,由多重硬实力铸就。
顺势而为,回应“好房子”的时代呼唤
随着国家鼓励建设第四代住宅,中国的建筑规范正在经历迭代。层高的增加、立面美学的升级,意味着门窗玻璃的尺寸必须随之放大。消费者不再满足于一方小窗,他们渴望的是无遮挡的视野、极致的采光与身临其境的赏景体验 。富轩的大玻璃战略,正是对这种美好生活向往的产品回应。

材料革命,从根源定义“安全”
大玻璃首重安全。富轩在选材上给出了良好的解决方案,优先采用SGP胶片防自爆坠落,标配自爆率接近0的超白玻,并进行均质处理,提前引爆玻璃杂质,从源头杜绝“自爆焦虑”;同时组合LOW-E 4SG玻璃超级隔热保温系统,不仅安全,更为国家“双碳”背景下的绿色家居保驾护航。同时,为了匹配大玻璃的安全需求,富轩自主研发4.0超承重型材系统,从根本上解决抗风压问题,其中的富那斯S20超承重系统,已成为行业标杆。

超级智造,以工业4.0致敬工匠精神
早在2010年,富轩便已前瞻布局,自建大玻璃深加工厂,直指当时家装市场的两大痛点:个性化订单无人服务、交付混乱不稳定。近年来,富轩引进了全球顶尖的德国科梅林4SG技术、以及采用柯耐士暖边条工艺,承诺25年杜绝起雾漏气,并对超大玻璃整体做出“管用30年”的承诺,更是斥巨资引入三条千万级芬兰格拉司通TPS4SG玻璃生产加工设备及配套玻璃钢化炉 。此外,拥有多条行业领先的大玻璃生产线,配备北玻钢化炉、玻璃气浮生产线和均质炉。这一系列在行业内堪称“奢侈”的硬件投入,为每一块大玻璃的品质与安全提供了坚实的保障。

交付革命,轩管家2.0守护“最后一公里”
大玻璃上楼难、安装难,是制约行业发展的痛点。富轩通过升级 “轩管家2.0”安装交付服务,以十八道严苛安装工序为标准,对售前勘察、售中安装、售后维护进行线上线下全流程监控,并实施内部验收和业主验收双重验收标准 。确保即便是在高楼层吊装巨型玻璃,也能让业主安心、省心,实现及时入住。

顶 级供应链,联袂护航
独行快,众行远。富轩与北玻、泰诺风、好博窗控等全球顶尖的玻璃、隔热条、五金供应商持续深度合作 。通过整合顶尖产业链资源,富轩不仅是在卖产品,更是在推动大玻璃门窗整体解决方案的创新发展,给每一位选择大玻璃的业主,多一份超越国标的放心。

无界视野:大玻璃的三大核心使用场景
大玻璃的价值,最终要回归到生活中去丈量。在新建的第四代住宅中,层高提升,阳台外便是私家花园或城市天际线,唯有通透明亮的大玻璃才能不辜负这“空中庭院”的美景 。

在别墅豪宅中,大玻璃早已是标配。它打破了室内外的割裂感,让庭院的绿意与阳光无死角地倾泻而入,成就真正意义上的豪宅气度。
在旧窗换新的市场中,越来越多的业主选择敲掉原来的小格子窗,换上整面的大玻璃。只为让老房子也能拥有全新的采光与赏景体验。
重塑人居美学,定义行业新标准
富轩全屋门窗此举,绝不仅仅是一次产品线的更迭。它的划时代意义在于,彻底打破了长久以来存在于家装门窗领域“颜值”与“安全”不可兼得的对立魔咒。
过去,消费者在面对大玻璃时总是心存顾虑:这么大的玻璃安不安全?安装靠不靠谱?用久了会不会漏气?富轩通过材料创新、工艺革新、安装标准化等,提供了系统性的超大玻璃门窗解决方案。
这标志着中国 门窗行业从单纯的“功能满足”正式迈向了“情绪价值与极致体验”的新阶段。 富轩以一己之力,联合顶尖供应链,为行业树立了一座关于“超大玻璃、超安全、管用30年”的技术灯塔。它让“拥有一面全景窗”不再是少数顶尖豪宅的专利,而成为追求生活品质的普通家庭也能安心触达的现实。


弗诺瑟姆(Furnotherm)在容器玻璃熔炉建造领域又达成了一个里程碑——该公司受托承担了一项极具挑战性的项目,即为尼日利亚的贝塔玻璃(Beta Glass)重建一座250吨、70平方米的容器玻璃熔炉。这座熔炉由意大利的BDF工业公司(BDF Industries)负责设计和设备供应。该项目要求进行周密规划、全面执行,并在极短的时间内完成交付。
工作范围包括:
耐火材料:拆除和重新安装2000公吨耐火材料,包括热密封。钢材:约90吨钢结构的拆除、改造和重新安装。熔炉设备安装:排气通风系统、风门、批量装料机、助推器、探头、摄像头以及冷却塔迁移。工作端及前炉设备:安装气体还原装置、鼓风机、燃烧器以及燃烧和冷却撬块。公用设施:在26个回路中用不锈钢更换旧水管,并为工作端铺设新的空气和燃气管道。燃烧和冷却空气管道:五个前炉的燃烧/冷却管道、喷嘴、斜向管道、鼓风机和风扇的制造与安装。电气工程:安装 MCC 柜、电缆、电缆桥架以及熔炉、作业端和前炉的仪表。升温与碎玻璃填充。
Furnotherm在48天内成功完成了全部工作范围。这在玻璃容器行业是一项纪录。
Furnotherm感谢Beta Glass团队,特别是Beta Glass的首席运营官Jagdish Agarwal,感谢他们的信任、指导和专业技术,这些是项目成功的关键。
公司也感谢BDF工业公司在该项目成功调试中提供的宝贵支持。
小玻编译

">热点-知识

Gearbox工作室CEO Randy Pitchford今天在推特上回答了粉丝提问,确认《无主之地2》中的人气角色小缇娜将在《无主之地3》中回归,而且配音演员Ashly Burch也将继续饰演这一角色。
这个消息的起因是人气配音演员Troy Baker将不会在《无主之地3》中给Rhys配音,玩家对此反应各异。而对于质疑的声音,Pitchford表示,他从音效总监那里得到消息,这是因为Baker自己拒绝了这个角色。
小缇娜最初是《无主之地2》中的NPC,在主线任务中帮助玩家制作炸弹,同时也让玩家了解到她悲惨的身世。后来在她在第四部DLC“小缇娜的龙堡之袭”中又有过隆重演出。在后来的《无主之地:前传》中,她也曾与Athena有过交谈。小缇娜的配音演员Ashly Burch也很有人气,后来曾扮演过《奇异人生》中的克洛伊,《地平线:零之黎明》的埃罗依,以及Telltale版《银河护卫队》里的星云。
关于《无主之地3》本身的消息还有,本作可能会支持跨平台合作,因为Xbox One商城里标有相关标签,但2K方面没有进行否认和确认,只是声明“跨平台是我们密切关注的功能,但目前没有可以宣布的信息”。
另外还有传闻称,Tracy Marrow将在本作中扮演自己。这是他自己爆料的。考虑到他的确也曾有过游戏角色扮演的经历,所以这条传闻还是比较有可能的。
《无主之地3》将于9月13日登陆PS4、Xbox One和PC Epic商城。
">百科-综合